3 赵昊辰-TEM.pptx

,即透射电子显微镜(transmissionelectronmicroscope)。TEM用高能电子束轰击样品,接收电子束与样品的相互作用后的透射电子来成像。与SEM不同,TEM是用透射电子来成像的。根据样品对电子的透过性的不同,在成像上有衬度的差别。:电子产生装置(主要是电子枪及电子聚焦装置),物镜,进样杆,目镜和信号收集系统等。电子枪发射出电子束,经过物镜偏转,再打到样品上,经目镜聚焦反转,D底片板上。总体上,TEM的成像原理类似于常见的光学显微镜。均是将光或电子束进行聚焦,从而成像。:TEM样品制备不如SEM方便,且对样品的要求较高。一般来说,将固体样品研磨细致,再将其分散在乙醇中,滴道铜网上,等乙醇挥发后,样品就留在铜网上。此外,禁止样品中出现低聚物(D底片造成不可逆的损害)。:加速电压:根据相对论,电压越大,电子速度越快,其波长越短,分辨率越高。像差:对于TEM来说,像差的影响主要集中在球差和像散上球差:即电磁透镜对于不同位置上的电子的偏转的差异。由于TEM只有汇聚透镜,所以球差是不可避的。像散:电子束经透镜偏转聚焦后像点不一致的现象。,HITACHI,FEI,ZEISS。复旦先进材料实验室对学生开放的TEM为日本JEOLJEM-1400plus。这次就着重介绍这款电镜。日本电子(JEOL),发端于1946年。其制作电子显微镜的历史悠久,于1949年制作出日本第一台TEM。现今与HITACHI,FEI,ZEISS等齐名,是世界上知名的科研仪器制造商。JEM--1400plus体型较小,加速电压为120kv,适合观察样品的大致形貌,且此款电镜配备EDS接口,所以兼具元素分析功能。-1400plus实例SiO2sphere,粒径340nm.