透射电子显微镜资料.ppt

第一节透射电子显微镜的结构与成像原理/tem/1透射电镜的结构与原理透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscopy简称TEM)是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。透射电镜的结构:由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。电子光学系统:(镜筒),是透射电镜的核心。它由照明系统、成像系统和观察记录系统分为三部分。透射电镜的光路原理:与透射光学显微镜十分相似。2透射电镜光路原理与光镜比较图8-1透射显微镜构造原理和光路透射电子显微镜透射光学显微镜照明系统成像系统3日本电子公司透射电镜JEM-2100日本电子公司高分辨率的TEMJEM-2100●点分解能:●加速電圧:80~200kV●倍率:×50~1,500,000电子公司透射电镜JEM-2100(HR)我校新安装的TEM●点分辨率:●晶格分辨率:●加速電圧:80~200kV●倍率:×50~1,500,0005JEM-2010透射电镜镜筒剖面图1-高压电缆2-电子枪3-阳极4-束流偏转线圈5-第一聚光镜6-第二聚光镜8一电磁偏转线圈10一物镜消像散线圈7-聚光镜光阑9-物镜光阑11一物镜12-选区光阑15-第三中间镜13-第一中间镜14一第二中间镜16-高分辨衍射室17-光学显微镜19-荧光屏18一观察窗20、21-发、收片盒22-照相室6原荷兰PHILIPS公司透射电镜CM200-TEM用于普通的材料研究CM120-aiF308高電圧電子顕微鏡JEM-ARM1300日本电子公司(JEOL)的超高压電子顕微鏡。●加速電压:400~1,300kV●点分解能:●倍率:×200~1,500,0009冷场发射球差校正透射电镜JEM-ARM200F2010年7月,JEOL最新推出冷场发射双球差校正原子分辨和分析型透射电镜。技术参数:1、原子分辨率:STEM ,(Cs=)2、放大倍数:STEM:100~1500万,TEM:50~200万3、加速电压:200kV4、球差校正器:STEMCscorrector(标配)TEMCscorrector(可选)5、其他附件:EDS/Dcamera,