ZLS手册-23B氦质谱检漏仪操作手册.doc

ZLS-“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查仪器灵敏度(可调加速电压使信号指示最大),灵敏度达要求后关漏孔。,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。,关抽速阀。“前级泵”。,扩散泵已冷,将总电源转到“关”。≤2×10-11Pa·m3/sQmin=×Qo例:Qmin=××10-9=×10-11Pa·m3/s①Un—仪器噪音和漂移:如无明显摆动,则按表头最灵敏档的1/50或表头最小分格计算,本仪器为2mV。②Us—信号值:开、关漏孔在仪器放大器表头读出的电压值。③Qo—漏孔漏率值:本仪器所指的漏率值为空气的漏率值,仪器现使用的校准漏孔,其标定值为氦气的漏率值,应按下式换算为空气的漏率值。Qo=QHe÷≈QHe÷:×10-9÷=×10-9Pa·m3/sM1———,仪器灵敏度可能较静态灵敏度下降,此时的灵敏度应按选定的检漏方法,调好仪器后进行校准,计算公式与以上静态灵敏度公式相同。检漏时,工件的漏率值可按下式计算:Qx=×Qo例:Qx=××10-9=×10-8Pa·m3/sQx—工件的漏率值。UX—对工件检漏时仪器放大器表头读出的电压值。Us—开、关漏孔在仪器放大器表头读出的电压值。Qo—漏孔漏率值检漏注意事项一、工件要保持清洁、干燥。二、对工件喷氦应按以下顺序进行:①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。三、喷氦时应经常检查喷枪口是否有氦气喷出。四、检完工件,必须将“节流阀”关闭,才能取工件。五、对同一工件,如有两处以上漏点,应排除最大的漏点后,再对其它地方检漏。六、装工件时应使连接处密封好,不能有漏。七、检漏间应通风良好,避免氦气浓度增高,但应避免强通风。八、氦气属贵重气体,应避免泄漏浪费。提高检漏灵敏度方法尽量开大节流阀。尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。三、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。四、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。使用液氮一、加液氮:在冷规指针过1·10-2Pa以后,加入液氮。二、停机前必须将残余液氮排除后,才能关机:关机前先关“冷规”,关抽速阀,将总电源转到“前级泵”,将冷阱内残余液氮排出,再加入热水,等20分钟左右,扩散泵已冷,将总电源转到“关”。加液氮时应注意防护,防止